在眾多寬禁帶半導(dǎo)體中，氧化鎵是唯一可用常壓、傳統(tǒng)熔體法做大尺寸晶體的寬禁帶半導(dǎo)體，具有生長(zhǎng)速度快（1~2個(gè)數(shù)量級(jí)）、大規(guī)模量產(chǎn)成本低、可做高質(zhì)量大尺寸晶體等優(yōu)點(diǎn)。與SiC、GaN相比，氧化鎵具有更大的禁帶寬度、擊穿場(chǎng)強(qiáng)、巴利加優(yōu)值，制作的功率器件具有更高的工作電壓、功率，以及更小的導(dǎo)通電阻和功耗。氧化鎵的硬度（6）與硅的硬度接近，可以用硅成熟的加工設(shè)備和技術(shù)（金剛線切割，CMP），具有高的加工效率和成品率，可顯著降低成本。氧化鎵已成為功率器件領(lǐng)域的“卡脖子”材料。
近日，由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟（CASA）與三安光電股份有限公司共同主辦的“2025功率半導(dǎo)體制造及供應(yīng)鏈高峰論壇”在重慶山城國(guó)際會(huì)議中心盛大召開(kāi)。論壇圍繞功率半導(dǎo)體制造及供應(yīng)鏈中的諸多關(guān)鍵問(wèn)題，多方優(yōu)勢(shì)力量強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，院士領(lǐng)銜，專家齊聚，攜手促進(jìn)功率半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展。
浙江大學(xué)教授、杭州鎵仁半導(dǎo)體有限公司董事長(zhǎng)張輝
期間 ，“分論壇二：氮化鎵及其他功率半導(dǎo)體技術(shù)及應(yīng)用“上，浙江大學(xué)教授、杭州鎵仁半導(dǎo)體有限公司董事長(zhǎng)張輝，帶來(lái)了“大尺寸高質(zhì)量氧化鎵單晶材料進(jìn)展”主題報(bào)告，分享了氧化鎵單晶生長(zhǎng)技術(shù)、直拉、鑄造及VB單晶生長(zhǎng)研發(fā)等最新進(jìn)展。報(bào)告指出，氧化鎵晶體生長(zhǎng)方法種類繁多，鑄造和VB法在尺寸、成本、質(zhì)量等諸多方面，均展現(xiàn)出規(guī)模產(chǎn)業(yè)化的極大潛力。
其團(tuán)隊(duì)研究開(kāi)發(fā)的鑄造法等技術(shù)已成功實(shí)現(xiàn)多種晶向，不同摻雜，大尺寸（6英寸）氧化鎵晶體的生長(zhǎng)，可滿足各種外延，器件需求。根據(jù)測(cè)算，其現(xiàn)有技術(shù)量產(chǎn)后就可以將6英寸襯底成本做到2000元以下，進(jìn)一步降低成本將會(huì)在2~3年內(nèi)完成，為產(chǎn)業(yè)提供高質(zhì)量、廉價(jià)襯底。高質(zhì)量、低成本的襯底可以輔助同行攻克一些關(guān)鍵問(wèn)題，比如缺陷行為、p型摻雜、大面積大電流器件。氧化鎵的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程將逐漸加速，襯底、外延、器件、應(yīng)用的結(jié)合應(yīng)更為緊密，實(shí)現(xiàn)超越。
公司簡(jiǎn)介
杭州鎵仁半導(dǎo)體有限公司成立于2022年9月，是一家專注于氧化鎵等寬禁帶半導(dǎo)體材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的科技型企業(yè)。鎵仁半導(dǎo)體依托浙江大學(xué)硅及先進(jìn)半導(dǎo)體材料全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室和浙江大學(xué)杭州國(guó)際科創(chuàng)中心，已建成以中國(guó)科學(xué)院院士為首席顧問(wèn)，具備豐富行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的研發(fā)、生產(chǎn)、運(yùn)營(yíng)團(tuán)隊(duì)。公司開(kāi)創(chuàng)了氧化鎵單晶生長(zhǎng)新技術(shù)，獲得 14 項(xiàng)國(guó)際、國(guó)內(nèi)發(fā)明專利，打破了西方國(guó)家在氧化鎵襯底材料上的壟斷和封鎖。鎵仁半導(dǎo)體立足于解決國(guó)家重大需求，將深耕于氧化鎵上游產(chǎn)業(yè)鏈的持續(xù)創(chuàng)新，努力為我國(guó)的電力電子等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供產(chǎn)品保障。
鎵仁半導(dǎo)體引領(lǐng)行業(yè)創(chuàng)新，采用自主研發(fā)的鑄造法等單晶生長(zhǎng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)6英寸氧化鎵單晶襯底和晶圓級(jí)（010）單晶襯底的生產(chǎn)技術(shù)突破，并開(kāi)發(fā)了首臺(tái)包含工藝包的氧化鎵專用VB長(zhǎng)晶設(shè)備。公司已掌握氧化鎵生長(zhǎng)、加工、外延等全鏈條的核心技術(shù)，為客戶提供擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的大尺寸高質(zhì)量氧化鎵產(chǎn)品及設(shè)備。
