據(jù)塔斯社報(bào)道,俄羅斯首臺光刻機(jī)已經(jīng)制造完成并正在進(jìn)行測試。俄羅斯聯(lián)邦工業(yè)和貿(mào)易部副部長 Vasily Shpak 表示,該設(shè)備可確保生產(chǎn) 350 納米工藝的芯片。
Shpak 表示,“我們組裝并制造了第一臺國產(chǎn)光刻機(jī)。作為澤廖諾格勒技術(shù)生產(chǎn)線的一部分,目前正在對其進(jìn)行測試。”俄羅斯接下來的目標(biāo)是在 2026 年制造可以支持 130nm 工藝的光刻機(jī)。
據(jù)悉,350 納米工藝的芯片現(xiàn)在仍然可以應(yīng)用于汽車、能源和電信等多個(gè)行業(yè)。
據(jù)IT之家此前報(bào)道,俄羅斯科學(xué)院下諾夫哥羅德應(yīng)用物理研究所(IPF RAS) 曾于 2022 年宣布,正在開發(fā)俄羅斯首套半導(dǎo)體光刻設(shè)備,并對外夸下??冢哼@套光刻機(jī)能夠使用 7nm 生產(chǎn)芯片,可于 2028 年全面投產(chǎn)。
據(jù)介紹,他們計(jì)劃在六年內(nèi)制作出光刻機(jī)的工業(yè)原型,首先要在2024 年開發(fā)一臺 alpha 機(jī)器。這一階段的重點(diǎn)不在于其工作或解決的高速性,而在于所有系統(tǒng)的全面性。