至純科技發(fā)布公告稱，擬向不超過35名特定投資者，定增募資18億元，扣除發(fā)行費用后，4億元用于單片濕法工藝模塊、核心零部件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目，1.6億元用于至純北方半導(dǎo)體研發(fā)生產(chǎn)中心項目，7億元用于啟東半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)化基地二期項目，剩余5.4億元用于補充流動資金或償還債務(wù)。

對于單片濕法工藝模塊、核心零部件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目。公告指出，本次項目建成后將成為公司高階制程單片濕法裝備及零部件研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化基地，在設(shè)計、制造及研發(fā)上實現(xiàn)從成熟制程往高階先進制程的路徑，裝備與核心零部件將形成雙向協(xié)同，項目達成后將形成高階制程單片濕法模塊年產(chǎn)100套，各類零部件年產(chǎn)近2,000套，進一步提高生產(chǎn)規(guī)模和產(chǎn)品產(chǎn)能，是公司戰(zhàn)略目標(biāo)達成的重要支撐。

至純北方半導(dǎo)體研發(fā)生產(chǎn)中心項目的實施將擴大公司生產(chǎn)規(guī)模、增強公司產(chǎn)品下游應(yīng)用領(lǐng)域，同時針對北方客戶需求對產(chǎn)品進行定制化研發(fā)以提升產(chǎn)品競爭力，鞏固并提升公司的行業(yè)地位。本項目達產(chǎn)后，公司預(yù)計將實現(xiàn)年產(chǎn)系統(tǒng)集成及支持設(shè)備30套、半導(dǎo)體濕法設(shè)備15臺、半導(dǎo)體零部件2,610套的生產(chǎn)能力。

啟東半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)化基地二期項目主要用于研發(fā)并量產(chǎn)爐管與涂膠顯影等集成電路設(shè)備、光伏制絨清洗設(shè)備等泛半導(dǎo)體工藝設(shè)備，以及設(shè)備配套核心零部件等產(chǎn)品。本次項目建成并達成后，將形成年產(chǎn)爐管、涂膠顯影等集成電路設(shè)備50套，光伏工藝設(shè)備120套，面板制程設(shè)備10套，系統(tǒng)集成及工藝設(shè)備逾3,000套，配套零部件逾30,000套的生產(chǎn)規(guī)模。