至純科技發(fā)布公告稱，擬向不超過35名特定投資者，定增募資18億元，扣除發(fā)行費(fèi)用后，4億元用于單片濕法工藝模塊、核心零部件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目，1.6億元用于至純北方半導(dǎo)體研發(fā)生產(chǎn)中心項(xiàng)目，7億元用于啟東半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)化基地二期項(xiàng)目，剩余5.4億元用于補(bǔ)充流動(dòng)資金或償還債務(wù)。

對(duì)于單片濕法工藝模塊、核心零部件研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。公告指出，本次項(xiàng)目建成后將成為公司高階制程單片濕法裝備及零部件研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化基地，在設(shè)計(jì)、制造及研發(fā)上實(shí)現(xiàn)從成熟制程往高階先進(jìn)制程的路徑，裝備與核心零部件將形成雙向協(xié)同，項(xiàng)目達(dá)成后將形成高階制程單片濕法模塊年產(chǎn)100套，各類零部件年產(chǎn)近2,000套，進(jìn)一步提高生產(chǎn)規(guī)模和產(chǎn)品產(chǎn)能，是公司戰(zhàn)略目標(biāo)達(dá)成的重要支撐。

至純北方半導(dǎo)體研發(fā)生產(chǎn)中心項(xiàng)目的實(shí)施將擴(kuò)大公司生產(chǎn)規(guī)模、增強(qiáng)公司產(chǎn)品下游應(yīng)用領(lǐng)域，同時(shí)針對(duì)北方客戶需求對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行定制化研發(fā)以提升產(chǎn)品競爭力，鞏固并提升公司的行業(yè)地位。本項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后，公司預(yù)計(jì)將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)系統(tǒng)集成及支持設(shè)備30套、半導(dǎo)體濕法設(shè)備15臺(tái)、半導(dǎo)體零部件2,610套的生產(chǎn)能力。

啟東半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)化基地二期項(xiàng)目主要用于研發(fā)并量產(chǎn)爐管與涂膠顯影等集成電路設(shè)備、光伏制絨清洗設(shè)備等泛半導(dǎo)體工藝設(shè)備，以及設(shè)備配套核心零部件等產(chǎn)品。本次項(xiàng)目建成并達(dá)成后，將形成年產(chǎn)爐管、涂膠顯影等集成電路設(shè)備50套，光伏工藝設(shè)備120套，面板制程設(shè)備10套，系統(tǒng)集成及工藝設(shè)備逾3,000套，配套零部件逾30,000套的生產(chǎn)規(guī)模。