日前，日本住友化學在其官網(wǎng)宣布決定擴大其用于先進半導體工藝的光刻膠生產(chǎn)能力。

 

圖片來源：住友化學官網(wǎng)截圖

 

新聞稿指出，住友化學將在大阪工廠（日本大阪河野谷）擴建浸入式ArF和EUV光刻膠生產(chǎn)線，同時，還計劃在其全資子公司韓國東宇精細化學株式會社益山廠建立一座新的ArF浸沒光刻用光刻膠生產(chǎn)工廠。

 

住友化學表示，大阪工廠計劃于2023財年上半年開始投產(chǎn)，東宇精細化學益山工廠計劃于2024財年上半年開始投產(chǎn)。

 

由于大阪工廠的產(chǎn)能擴建和此次新建工廠，住友化學的ArF光刻膠產(chǎn)能到2024年度將提高至2019年度的2.5倍。